[发明专利]平面马达和包括这种平面马达的光刻设备

摘要

本发明公开了一种平面马达以及包括该平面马达的光刻设备。该平面马达包括：定子，包括多个定子极，多个定子极以具有第一节距的重复布置的方式布置，多个定子极面对移动平面的第一侧；和动子，包括多个动子极，多个定子极以具有第二节距的重复布置的方式布置，多个动子极面对移动平面的相对的第二侧。定子和动子的至少一个的极设置有绕组以响应于通过相应绕组的电流改变定子极和动子极相应一个内的磁场。定子和动子的至少一个包括永磁体，用于产生从永磁体延伸经过定子和动子的至少一个相应的极至定子和动子的另一个并返回的磁场。第一和第二节距彼此不同，使得当动子的一个动子极与定子的一个定子极对准，动子的其他动子极与定子的定子极不对准。

主权项

一种设置有平面马达的光刻设备，所述平面马达包括：定子，包括多个定子极，所述多个定子极以具有第一节距的重复布置方式布置，多个定子极面对移动平面的第一侧，动子，包括多个动子极，所述多个动子极以具有第二节距的重复布置方式布置，多个动子极面对移动平面的相对的第二侧，其中所述定子和动子中的至少一个的极设置有绕组，以便响应于通过相应的绕组的电流改变定子极和动子极中相应的极内的磁场，其中所述定子和动子中的至少一个包括永磁体，用于产生从永磁体延伸经过定子和动子的至少一个相应的极至定子和动子中的另一个并返回的磁场，其中第一节距和第二节距彼此不同，使得当动子的动子极中的一个与定子的定子极中的一个对准时，动子的其他动子极与定子的定子极不对准。