[发明专利]平面马达和包括这种平面马达的光刻设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种平面马达和包括这种平面马达的光刻设备。

背景技术

光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上，通常是衬底的目标部分上的机器。例如，可以将光刻设备用在集成电路(ICs)的制造中。在这种情况下，可以将可选地称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成在所述IC的单层上待形成的电路图案。可以将该图案转移到衬底(例如，硅晶片)上的目标部分(例如，包括一部分管芯、一个或多个管芯)上。通常，图案的转移是通过把图案成像到提供到衬底上的辐射敏感材料(抗蚀剂)层上进行的。通常，单独的衬底将包含被连续形成图案的相邻目标部分的网络。公知的光刻设备包括：所谓的步进机，在步进机中，通过将全部图案一次曝光到所述目标部分上来辐射每一个目标部分；和所谓的扫描器，在所述扫描器中，通过辐射束沿给定方向(“扫描”方向)扫描所述图案、同时沿与该方向平行或反向平行的方向同步地扫描所述衬底来辐射每一个目标部分。也可能通过将图案压印(imprinting)到衬底上的方式从图案形成装置将图案转移到衬底上。

在光刻技术中，需要例如平面马达等高功率电动马达，例如以能够使得保持衬底的衬底台或保持图案形成装置的支撑结构移动。一方面，高的加速度需要功率高的马达。另一方面，高功率的马达带来重量大的移动部分，由于将要移动的结构的较大的质量，这对将要实现的最大加速度产生负面的影响。而且，兼容性起重要作用。在应用多个马达单元的情形中，例如用于沿x方向推进的马达单元和沿y方向推进的马达单元，与多个马达单元相互连接的结构的兼容性可能限制将要实现的移动的动态性能和最大带宽。

发明内容

期望提供一种平面马达，其能够提供高的加速度和高的带宽。

根据本发明的一个实施例，提供一种光刻设备，设置有平面马达，所述平面马达包括：

定子，包括多个定子极，所述多个定子极以具有第一节距的重复布置方式布置，多个定子极面对移动平面的第一侧，

动子，包括多个动子极，所述多个动子极以具有第二节距的重复布置方式布置，多个动子极面对移动平面的相对的第二侧，

其中定子和动子中的至少一个的极设置有绕组，以便响应于通过相应的绕组的电流改变定子极和动子极中相应的一个内的磁场，

其中定子和动子中的至少一个包括永磁体，用于产生从永磁体延伸经过定子和动子中的至少一个相应的极至定子和动子中的另一个并返回的磁场，

其中第一节距和第二节距彼此不同，使得当动子的一个动子极与定子的一个定子极对准时，动子的其他动子极与定子的定子极不对准。

在本发明的另一实施例中，提供一种照射系统，配置成调节辐射束；

支撑结构，构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面上将图案赋予辐射束以形成图案化辐射束；

衬底台，构造成保持衬底；和

投影系统，配置成将图案化辐射束投影到衬底的目标部分上，

其中光刻设备包括根据本发明的平面马达，所述平面马达是支撑结构和衬底台中一个的驱动马达。

附图说明

现在参照随附的示意性附图，仅以举例的方式，描述本发明的实施例，其中，在附图中相应的附图标记表示相应的部件，且其中：

图1示出根据本发明一个实施例设置于其中的光刻设备；

图2示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意侧视图；

图3示意地示出根据本发明一个实施例的平面马达的侧视图；

图4示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意侧视图；

图5示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意侧视图；

图6示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意侧视图；

图7示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意俯视图；以及

图8示出根据本发明一个实施例的平面马达的示意俯视图。

具体实施方式