[发明专利]平面马达和包括这种平面马达的光刻设备

权利要求书

1.一种设置有平面马达的光刻设备，所述平面马达包括：

定子，包括多个定子极，所述多个定子极以具有第一节距的重复布置方式布置，多个定子极面对移动平面的第一侧，

动子，包括多个动子极，所述多个动子极以具有第二节距的重复布置方式布置，多个动子极面对移动平面的相对的第二侧，

其中所述定子和动子中的至少一个的极设置有绕组，以便响应于通过相应的绕组的电流改变定子极和动子极中相应的极内的磁场，

其中所述定子和动子中的至少一个包括永磁体，用于产生从永磁体延伸经过定子和动子的至少一个相应的极至定子和动子中的另一个并返回的磁场，

其中第一节距和第二节距彼此不同，使得当动子的动子极中的一个与定子的定子极中的一个对准时，动子的其他动子极与定子的定子极不对准。

2.如权利要求1所述的光刻设备，其中所述定子极和动子极朝向移动平面形成锥形。

3.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述定子极和动子极在其一侧设置有面对移动平面的锥形边缘。

4.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述定子极和动子极是至少双开槽的。

5.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述第一节距是恒定节距，且第二节距被设置成使得动子极以360度除以N的相差设置，其中N等于动子的动子极的数量。

6.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述动子包括至少三个动子极。

7.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述动子包括四个动子极。

8.如权利要求7所述光刻设备，其中所述第一节距是恒定节距，并且第二节距是成对恒定的。

9.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述动子包括永磁体和绕组。

10.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述定子极之间的间隔填充非磁导材料。

11.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，包括用以驱动线圈的驱动布置，其中所述驱动布置构造成整流线圈作为动子相对于定子的位置的函数。

12.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述定子极和动子极由铁磁材料或亚铁磁材料形成。

13.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述平面马达包括第一对动子，构造用于在基本上平行于移动平面的基本上相同的第一方向上产生力，第一对动子彼此机械连接并且第一对的动子在移动平面内在作为第一对的各个动子的位置函数的力波动方面相对于彼此相位偏移基本上180度。

14.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，其中所述平面马达包括布置在移动平面内的第一对动子和第二对动子，第一对和第二对的动子彼此机械地连接并且基本上以象限布置的方式沿移动平面定位，其中第一对的动子和第二对的动子就作为动子位置的函数的动子的马达力作用点带来的扭矩波动方面来说、相对于彼此在第一方向上相位偏移大约180度。

15.如前述权利要求中任一项所述的光刻设备，包括：

照射系统，配置成调节辐射束；

支撑结构，构造成支撑图案形成装置，所述图案形成装置能够在辐射束的横截面上将图案赋予辐射束以形成图案化辐射束；

衬底台，构造成保持衬底；和

投影系统，配置成将图案化辐射束投影到衬底的目标部分上，

其中所述平面马达是支撑结构和衬底台中的一个的驱动马达。