[发明专利]一种多面体主基板及其制造方法和加工方法有效
| 申请号： | 201210078765.8 | 申请日： | 2012-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN103324032A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 吴飞;王茜;魏巍;袁志扬;陈文枢 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。本发明基于多面体结构设计，获得的主基板整体结构更为简单高效，能够达到更好的动态性能和稳定性。同时也符合主基板整体铸造的加工特性，其组合构成的主基板相比现有结构具有高模态、低质量的性能优势。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多面体 主基板 及其 制造 方法 加工 | ||
【主权项】：
一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，其特征在于，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。
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