[发明专利]一种多面体主基板及其制造方法和加工方法

权利要求书

1.一种多面体主基板，用于安装支撑装置、测量装置和镜筒装置，所述主基板上开设有至少一个工位，其特征在于，所述主基板的外表面是由所述支撑装置、测量装置、镜筒装置的安装区域的多边形包络面所限定，并由若干其他平面按凸包规则连接构成的凸多面体。

2.如权利要求1所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板外表面包括：

主基板上表面，开设有至少一个工位，并设置有对应所述支撑装置的安装区域，所述主基板上表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述支撑装置的安装区域限定；

主基板下表面，对应主基板上表面开设有相应的工位，并分别设置有对应若干测量系统的安装区域，所述主基板下表面为多边形结构，所述多边形结构的边缘由所述各测量系统的安装区域限定；以及，

外围板，包括若干多边形面板，所述外围板对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

3.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面之间还设置有若干肋板。

4.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述各肋板呈纵横交错均匀排布于所述主基板上表面和主基板下表面之间。

5.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

6.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

7.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置是减振器。

8.如权利要求1或2或7所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置的数量为三个或四个。

9.如权利要求8所述的多面体主基板，其特征在于，所述支撑装置设置在至少两个不同高度的平面上，所述主基板上表面由至少两个分别对应连接所述不同高度的平面连接而成。

10.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。

11.如权利要求1或2或10所述的多面体主基板，其特征在于，所述测量系统包括工件台激光干涉仪，零位传感器，离轴对准装置，调平调焦装置和二次预对准装置。

12.如权利要求2所述的多面体主基板，其特征在于，所述外围板中的各多边形面板连接形成的空间包络是由凸包条件限定的。

13.一种如权利要求1所述的多面体主基板的制造方法，所述主基板通过若干支撑装置安装在一基础框架上，其包括以下步骤：

提供主基板上表面：确定所述主基板上表面对应所述各支撑装置的安装区域，以所述各支撑装置安装区域作为边缘点确定主基板上表面的多边形结构，并在所述主基板上表面开设至少一个工位；

提供主基板下表面：确定所述主基板下表面上分别对应若干测量系统的安装区域，以所述各测量系统安装区域作为边缘点确定所述主基板下表面的多边形结构，并在所述主基板下表面开设对应主基板上表面的工位；以及，

提供外围板：对所述主基板上表面的多边形顶点与所述主基板下表面的多边形顶点以若干多边形面板进行过渡连接，并使所述主基板上表面、主基板下表面和外围板连接形成凸多面体。

14.如权利要求13所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，还包括在所述主基板上表面和主基板下表面之间设置肋板的步骤。

15.如权利要求13所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板上表面的多边形结构是以各减振器安装区域的包络所限定的多边形。

16.如权利要求13所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板上表面和主基板下表面对应开设的工位包括至少一个曝光位和至少一个测量位。

17.如权利要求13所述的多面体主基板的制造方法，其特征在于，所述主基板下表面的多边形结构是以各测量系统安装区域的包络所限定的多边形。