[发明专利]基板固定装置有效
| 申请号： | 201210067725.3 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102586752A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 辛忠兴;王培坤 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 梁挥;李岩 |
| 地址： | 中国台湾新竹科*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基板固定装置，应用于基板的运送过程，基板固定装置包含：承载座，用以承载基板，承载座中具有多个透孔；第一固定结构，穿过该等透孔并沿基板的法线方向移动，其移动而提供朝向基板法线方向的下压力时将基板抵顶至承载座；第二固定结构，置于承载座的第一侧并透过拉力元件与承载座连接；及滑动轴承结构，分别固定于承载座与第二固定结构，其因应第一固定结构的第一凸出部沿基板法线方向移动的滑入而将第二固定结构推离，以释放基板，并因应第一凸出部沿基板法线方向移动的滑出而通过拉力元件将第二固定结构拉近，以固定基板。 | ||
| 搜索关键词： | 固定 装置 | ||
【主权项】：
一种基板固定装置，应用于一基板的运送过程，其特征在于，该基板固定装置包含：一承载座，用以承载该基板，该承载座中具有多个透孔；一第一固定结构，穿过该等透孔并沿该基板的法线方向移动，其移动而提供朝向该基板法线方向的一下压力时，将该基板抵顶至该承载座；一第二固定结构，设置于该承载座的一第一侧并透过一拉力元件与该承载座连接；以及一滑动轴承结构，分别固定于该承载座与该第二固定结构，其因应该第一固定结构的一第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构推离，以释放该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近，以固定该基板。
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