[发明专利]基板固定装置

权利要求书

1.一种基板固定装置，应用于一基板的运送过程，其特征在于，该基板固定装置包含：

一承载座，用以承载该基板，该承载座中具有多个透孔；

一第一固定结构，穿过该等透孔并沿该基板的法线方向移动，其移动而提供朝向该基板法线方向的一下压力时，将该基板抵顶至该承载座；

一第二固定结构，设置于该承载座的一第一侧并透过一拉力元件与该承载座连接；以及

一滑动轴承结构，分别固定于该承载座与该第二固定结构，其因应该第一固定结构的一第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构推离，以释放该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近，以固定该基板。

2.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该基板为一玻璃基板、一透光基板或一半导体基板。

3.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该承载座面积大于该基板而具有一外环部，该外环部中具有该等透孔。

4.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该第一固定结构包含：

一移动平台，其具有该第一凸出部及一第二凸出部并可沿该基板法线方向进行往复移动；

多个插件，接触至该移动平台的该第二凸出部并穿过该等透孔；

多个弹簧，套合于该等插件；以及

多个衬垫，分别设置于该等插件的端点，用以于该等插件因应该等弹簧的回复力而沿该基板的法线方向移动时，来将该基板抵顶至该承载座。

5.如权利要求4所述的基板固定装置，其特征在于，该第二凸出部沿该基板法线方向向上移动时，压缩该等弹簧而使该等插件沿该基板的法线方向向上移动而使该等衬垫向上移动。

6.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该第二固定结构包含：

一接触部，设置于该承载座的该第一侧，用以抵顶该基板；以及

一支架部，透过该拉力元件与该承载座连接并分别连接至该接触部与该滑动轴承结构，用以将该滑动轴承结构的移动传递至该接触部。

7.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该接触部包含：

一接触部主体，连接至该支架部；以及

一缓冲座，连接至该接触部主体，用以抵顶该基板。

8.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该缓冲座由一塑料材料来完成。

9.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该滑动轴承结构包含：

一第一球状轴承，固定于该承载座；以及

一第二球状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等球状轴承之间而将该第二固定结构推离该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等球状轴承之间，而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近该基板。

10.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征在于，该滑动轴承结构包含：

一第一圆柱状轴承，固定于该承载座；以及

一第二圆柱状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等圆柱状轴承之间而将该第二固定结构推离该承载座与该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等圆柱状轴承之间，而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近该承载座以抵顶该基板。