[发明专利]基板固定装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种基板固定装置，且特别是有关于一种溅镀机台中的基板固定装置。

背景技术

请参见图1A～图1D，其为一传统溅镀机台中的基板固定装置，溅镀机台广泛应用于各类成模制程中，例如，薄膜晶体管与金氧半晶体管等元件的制程中。图1A表示出基板固定装置的上视示意图，其中包含有一承载座91，用以承载该基板90，该承载座91中具有多个透孔910及凹槽99。至于图1B则表示出基板固定装置的侧面示意图，该承载座91中的多个透孔910用以让第一固定结构92的多个插件922穿过该等透孔910，而衬垫923分别设置于该等插件922的端点，至于弹簧924套合于插件922上，该等弹簧一端固接该插件922，另一端接触至该承载座91。当该等插件922因移动平台921下移，便可使得套合于插件922上的弹簧924的回复力而将该等衬垫923沿基板90的法线方向向下移动，进而形成如图1C所示的状态，用以提供下压力来将基板90抵顶至该承载座91而完成固定。

而为能提供衬垫923的容置空间，习知承载座91上具有凹槽99来让衬垫923嵌入。但因进入溅镀工作状态时，承载座91将如图1d的所示，由水平状态转成直立状态，用以靠近溅镀靶材98以及掩膜97，因此，于制程中产生的碎片很可能掉入位于直立状态的承载座91下端的凹槽99中，而堆积凹槽99中的碎片容易造成后续基板90的固定过程中被夹碎而发生连续破片的异常。有鉴于此，如何进一步改善习用装置所造成的缺失，为发展本案的主要目的。

发明内容

发明所要解决的技术问题在于提供一种基板固定装置，应用于基板的运送过程，该基板固定装置包含：承载座，用以承载该基板，该承载座中具有多个透孔；第一固定结构，穿过该等透孔并沿该基板的法线方向移动，其移动而提供朝向该基板法线方向的下压力时将该基板抵顶至该承载座；第二固定结构，设置于该承载座的第一侧并透过拉力元件与该承载座连接；以及滑动轴承结构，分别固定于该承载座与该第二固定结构，其因应该第一固定结构的第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入而将该第二固定结构推离，以释放该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近，以固定该基板。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该基板可为玻璃基板、透光基板或半导体基板。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该承载座面积可大于该基板而具有外环部，该外环部中具有该等透孔。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该第一固定结构包含：移动平台，其具有第一凸出部及第二凸出部并可沿该基板法线方向进行往复移动；多个插件，接触至移动平台的第二凸出部并穿过该等透孔；多个弹簧，套合该等插件；以及多个衬垫，分别设置于该等插件的端点，用以于该等插件因应该等弹簧的回复力而沿基板的法线方向移动时，来将基板抵顶至承载座。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中第二凸出部沿基板法线方向向上移动时，压缩该等弹簧而使该等插件沿基板的法线方向向上移动而使该等衬垫向上移动。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该第二固定结构包含：接触部，设置于该承载座的该第一侧，用以抵顶该基板而将该基板固定至该承载座；以及支架部，透过该拉力元件与该承载座连接并分别连接至该接触部与该滑动轴承结构，用以将该滑动轴承结构的移动传递至该接触部。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该接触部包含：接触部主体，连接至该支架部；以及缓冲座，连接至该接触部主体，用以抵顶该基板。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该缓冲座由一塑料材料来完成。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该滑动轴承结构包含：第一球状轴承，固定于该承载座；以及第二球状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等球状轴承之间而将该第二固定结构推离该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等球状轴承之间，而通过该拉力元件将该第二固定结构拉近该基板。

根据上述构想，本案所述的基板固定装置，其中该滑动轴承结构包含：第一圆柱状轴承，固定于该承载座；以及第二圆柱状轴承，固定于该第二固定结构，其因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑入该等圆柱状轴承之间而将该第二固定结构推离该承载座与该基板，并因应该第一凸出部沿该基板法线方向移动的滑出该等圆柱状轴承之间，而透过该拉力元件将该第二固定结构拉近该承载座以抵顶该基板。