[发明专利]维护显影溶液稳定的装置有效
申请号: | 201210065006.8 | 申请日: | 2012-01-13 |
公开(公告)号: | CN103207542A | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 魏志凌;高小平;樊春雷 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/30 | 分类号: | G03F7/30;G03F7/32 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明涉及一种维护显影溶液稳定的装置,包括:显影缸8、显影液添加缸1、计量泵2、pH计3、可编程逻辑控制器(PLC)4、管道5、信号线6、阀门7及7’。显影液添加缸1的出水口处连接有一个阀门7;计量泵2在出水口处设置有一个阀门7’;管道5输送显影液;pH计3为连续测量在线式的PH计;PLC4是用于接收pH计实时监控信号并控制计量泵的启动及其工作时间,信号线6采集和发送PLC4的信号。本发明中的维护显影溶液稳定的装置,能够智能实时全自动监控调整显影溶液,自动添加显影液,解放劳动力,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 维护 显影 溶液 稳定 装置 | ||
【主权项】:
一种维护显影溶液稳定的装置,其特征在于,装置包括:显影缸,用于盛放显影液;显影液添加装置,用于盛放新的显影液;计量装置,用于将显影液添加到显影缸中,连接显影液添加装置;测量装置,用于实时监控显影缸中的显影液的PH值;控制装置,两端分别连接计量装置和测量装置,接收测量装置实时监控信号,确定计量装置的启动,并控制计量装置的工作时间;信号线,两端分别连接计量装置和控制装置,用于采集和传送控制装置的信号;两条管道,其中一条管道两端分别连接计量装置和显影缸,另外一条管道两端分别连接计量装置和显影液添加装置,均用于输送显影液;以及阀门。
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