[发明专利]维护显影溶液稳定的装置有效
| 申请号： | 201210065006.8 | 申请日： | 2012-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN103207542A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;樊春雷 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;G03F7/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 维护 显影 溶液 稳定 装置 | ||
1.一种维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，装置包括：显影缸，用于盛放显影液；显影液添加装置，用于盛放新的显影液；计量装置，用于将显影液添加到显影缸中，连接显影液添加装置；测量装置，用于实时监控显影缸中的显影液的PH值；控制装置，两端分别连接计量装置和测量装置，接收测量装置实时监控信号，确定计量装置的启动，并控制计量装置的工作时间；信号线，两端分别连接计量装置和控制装置，用于采集和传送控制装置的信号；两条管道，其中一条管道两端分别连接计量装置和显影缸，另外一条管道两端分别连接计量装置和显影液添加装置，均用于输送显影液；以及阀门。
2.根据权利要求1所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述显影液添加装置为显影液添加缸，其出水口处连接一个阀门。
3.根据权利要求1所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述计量装置为计量泵。
4.根据权利要求3所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述计量泵在出水口处设置一个阀门。
5.根据权利要求1所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述测量装置为PH计。
6.根据权利要求5所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述PH计为连续测量在线式的PH计，用于在线实时监控显影缸内显影液的PH值。
7.根据权利要求1所述的维护显影溶液稳定的装置，其特征在于，所述控制装置为可编程逻辑控制器（PLC）。
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