[发明专利]一种硅片金相样品的简易制备方法无效
| 申请号： | 201210064597.7 | 申请日： | 2012-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN102589951A | 公开（公告）日： | 2012-07-18 |
| 发明（设计）人： | 宫龙飞;王风振 | 申请（专利权）人： | 苏州协鑫工业应用研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 肖明芳 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅片金相样品的简易制备方法，选取平整的圆柱作为硅片的载板；将热熔胶置于载板上，加热载板至热熔胶熔化；将硅片平放在载板中间覆盖于热熔胶之上，用另一个平整的压块施压于硅片上；冷却载板至室温，使热熔胶固化；对制备好的样品进行抛光处理；抛光处理后，重新加热载板使固熔胶熔化，硅片脱落取下；清洗硅片，完成超薄硅片的金相制样。本发明工艺简单，操作方便，实施成本低，制备的薄硅片样品在磨抛过程中不翘曲、无破碎，表现稳定，更为关键的是加工完成后硅片能够方便取出，实现了对超薄硅片显微结构的全方位观察，并能够方便选取特定区域进行诸如成分或者结构分析，进而做硅片特定区域的原位多角度、多手段表征和检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 金相 样品 简易 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片金相样品的简易制备方法，其特征在于，它包括如下步骤：(1)选取平整的圆柱作为硅片的载板；(2)将热熔胶置于载板上表面，加热载板至热熔胶熔化；(3)将硅片平放在载板上表面且覆盖于热熔胶之上，用另一个平整的压块施压于硅片上；(4)冷却载板至室温，使热熔胶固化；(5)对步骤(4)制备好的样品进行抛光处理；(6)抛光处理后，重新加热载板使固熔胶熔化，硅片脱落取下；(7)清洗硅片，完成超薄硅片的金相制样。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州协鑫工业应用研究院有限公司，未经苏州协鑫工业应用研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210064597.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带集成冷凝器的干式压缩机组
- 下一篇：一种离心式冷水机组
