[发明专利]反相器有效
申请号: | 201210057047.2 | 申请日: | 2008-05-15 |
公开(公告)号: | CN102593188A | 公开(公告)日: | 2012-07-18 |
发明(设计)人: | 大藤将人;安部胜美;林享;佐野政史;云见日出也 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 罗银燕 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明涉及反相器。所述反相器包括形成在基板上的多个氧化物半导体薄膜晶体管,其中,所述多个氧化物半导体薄膜晶体管之中的每一个包含选自In、Ga和Zn的至少一种元素,至少两个氧化物半导体薄膜晶体管的沟道层的厚度互不相同,以及所述两个氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压互不相同。 | ||
搜索关键词: | 反相器 | ||
【主权项】:
一种反相器,包括形成在基板上的多个氧化物半导体薄膜晶体管,其中,所述多个氧化物半导体薄膜晶体管之中的每一个包含选自In、Ga和Zn的至少一种元素,其中,至少两个氧化物半导体薄膜晶体管的沟道层的厚度互不相同,以及其中,所述两个氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压互不相同。
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