[发明专利]反相器有效

专利信息
申请号: 201210057047.2 申请日: 2008-05-15
公开(公告)号: CN102593188A 公开(公告)日: 2012-07-18
发明(设计)人: 大藤将人;安部胜美;林享;佐野政史;云见日出也 申请(专利权)人: 佳能株式会社
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 罗银燕
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明涉及反相器。所述反相器包括形成在基板上的多个氧化物半导体薄膜晶体管,其中,所述多个氧化物半导体薄膜晶体管之中的每一个包含选自In、Ga和Zn的至少一种元素,至少两个氧化物半导体薄膜晶体管的沟道层的厚度互不相同,以及所述两个氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压互不相同。
搜索关键词: 反相器
【主权项】:
一种反相器,包括形成在基板上的多个氧化物半导体薄膜晶体管,其中,所述多个氧化物半导体薄膜晶体管之中的每一个包含选自In、Ga和Zn的至少一种元素,其中,至少两个氧化物半导体薄膜晶体管的沟道层的厚度互不相同,以及其中,所述两个氧化物半导体薄膜晶体管的阈值电压互不相同。
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