[发明专利]计量型数字图像平面等厚干涉仪及采用其测量物体表面平面度的方法

摘要

本发明属于测量仪器及测量方法领域，提供了一种计量型数字图像平面等厚干涉仪及采用该干涉仪对物体表面平面度进行测量的方法。计量型数字图像平面等厚干涉仪在现有光学平面等厚干涉仪的基础上，在目镜处设置CCD图像传感器用以替代传统的目测读数、手工记录的操作方式，配合安装有图像采集卡和相应处理软件的计算机，实现了平面度的自动、准确测量和数据处理，提升了平面度检定过程中的自动化程度和数据处理的微机化程度，降低了劳动强度、提高了测量的效率和准确度。测量方法方面，充分发挥软件的功能，将测量过程分为图像接收、图像处理和数据处理得出检定结果三个大步骤，在图像处理环节中进行多次优化计算，提升了平面度检定结果的准确性。

主权项

一种计量型数字图像平面等厚干涉仪，包括光学平面等厚干涉仪，其特征在于：还包括CCD摄像模块、图像采集模块和软件处理模块，所述CCD摄像模块为设在所述光学平面等厚干涉仪目镜处的CCD图像传感器，还包括作为上位机的计算机，所述图像采集模块为安装在所述计算机中的图像采集卡，所述CCD图像传感器连接至所述图像采集卡，所述软件处理模块为安装在所述计算机中、接收所述图像采集卡采集到的图像信号并对其进行处理、最终计算得出被测物体表面平面度值的软件。