[发明专利]计量型数字图像平面等厚干涉仪及采用其测量物体表面平面度的方法

权利要求书

1.一种计量型数字图像平面等厚干涉仪，包括光学平面等厚干涉仪，其特征在于：还包括CCD摄像模块、图像采集模块和软件处理模块，所述CCD摄像模块为设在所述光学平面等厚干涉仪目镜处的CCD图像传感器，还包括作为上位机的计算机，所述图像采集模块为安装在所述计算机中的图像采集卡，所述CCD图像传感器连接至所述图像采集卡，所述软件处理模块为安装在所述计算机中、接收所述图像采集卡采集到的图像信号并对其进行处理、最终计算得出被测物体表面平面度值的软件。

2.按照权利要求1所述的计量型数字图像平面等厚干涉仪，其特征在于：所述CCD图像传感器为CCD摄像机。

3.按照权利要求1计量型数字图像平面等厚干涉仪，其特征在于：所述软件处理模块包括图像接收模块、图像截取模块、图像处理模块和平面度检定模块。

4.按照权利要求3计量型数字图像平面等厚干涉仪，其特征在于：所述软件处理模块还包括打印输出模块。

5.按照权利要求4计量型数字图像平面等厚干涉仪，其特征在于：还包括连接至所述计算机、用于打印输出采集的图像和平面度计算数据的打印机。

6.采用权利要求1至5任一项所述的计量型数字图像平面等厚干涉仪测量物体表面平面度的方法，其特征在于：

(1)打开仪器电源进行预热的步骤；

(2)将待测物体放置于平面等厚干涉仪内标准平晶上的步骤；

(3)采用计算机中软件进行图像接收的步骤；

(4)调整所述平面等厚干涉仪上的按钮直至显示的图像中干涉条纹位置和数量满足测量要求的步骤；

(5)图像截取的步骤；

(6)图像处理的步骤；

(7)平面度检定，即计算得出平面度值的步骤；

(8)将图像和平面度检定值进行屏幕显示的步骤。

7.按照权利要求6所述的方法，其特征在于：所述步骤(6)依次包括图像二值化、边缘提取、自动识别、像素细分、条纹修补、跟踪、标记和采样，最终得到干涉条纹的干涉级数。

8.按照权利要求6所述的方法，其特征在于：还包括将步骤(8)中所述的图像和平面度检定值进行打印输出的步骤。