[发明专利]离子束浓度的检测方法及离子束检测系统有效
| 申请号： | 201210053883.3 | 申请日： | 2012-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN103295864A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 张伟 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/317;G01T1/29 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 何平 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种离子束检测系统，包括探测器、二维驱动模块、控制器以及处理器，控制器用于向二维驱动模块发送控制指令；二维驱动模块用于根据控制指令驱动探测器在二维平面内移动；探测器用于测量离子束形成的电流；处理器用于根据探测器检测到的离子束的电流浓度信息和采样点位置信息，计算得到离子束面积，再根据电流浓度信息将电流大小除以离子束面积得到离子浓度。本发明还涉及一种离子束浓度的检测方法。本发明可以有效、准确地检测出离子束形状及离子束品质，使得工艺人员能够及时有效地控制在线工艺，及时发现离子束缺陷，采取措施预防并避免异常报废。且减少了设备人员维护和保养机台的频次，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 浓度 检测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种离子束检测系统，包括探测器，其特征在于，还包括二维驱动模块、控制器以及处理器，所述控制器与所述二维驱动模块电连接，用于向所述二维驱动模块发送控制指令；所述二维驱动模块连接所述探测器，用于根据控制指令驱动所述探测器在二维平面内移动；所述探测器用于测量离子束形成的电流；所述处理器连接所述探测器，用于根据所述探测器检测到的离子束的电流浓度信息和采样点位置信息，计算得到离子束横截面的面积，再根据所述电流浓度信息将电流大小除以离子束面积得到离子浓度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华科技有限公司，未经无锡华润上华科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210053883.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种改善自对准硅化物阻挡层台阶效应的刻蚀方法
- 下一篇：一种绝缘压块
