[发明专利]离子束浓度的检测方法及离子束检测系统

权利要求书

1.一种离子束检测系统，包括探测器，其特征在于，还包括二维驱动模块、控制器以及处理器，

所述控制器与所述二维驱动模块电连接，用于向所述二维驱动模块发送控制指令；

所述二维驱动模块连接所述探测器，用于根据控制指令驱动所述探测器在二维平面内移动；

所述探测器用于测量离子束形成的电流；

所述处理器连接所述探测器，用于根据所述探测器检测到的离子束的电流浓度信息和采样点位置信息，计算得到离子束横截面的面积，再根据所述电流浓度信息将电流大小除以离子束面积得到离子浓度。

2.根据权利要求1所述的离子束检测系统，其特征在于，所述二维驱动模块包括用于驱动所述探测器在第一方向运动的第一电机和驱动所述探测器在第二方向运动的第二电机，所述第一方向垂直于所述第二方向。

3.一种离子束浓度的检测方法，包括下列步骤：

通过探测器在带状离子束横截面的长度方向上连续采样，获取所述带状离子束的长度信息和电流浓度信息；

通过探测器在带状离子束横截面的宽度方向上连续采样，获取所述带状离子束的宽度信息；

根据所述长度信息和宽度信息，将离子束长度乘以离子束宽度得到离子束横截面的面积；

根据所述电流浓度信息将电流大小除以离子束横截面的面积得到离子浓度。

4.根据权利要求3所述的离子束浓度的检测方法，其特征在于，所述通过探测器在带状离子束宽度方向上连续采样的步骤，是在所述带状离子束横截面的两端和中间分别采样。