[发明专利]图案转印装置以及图案转印方法无效
| 申请号： | 201210038562.6 | 申请日： | 2012-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN102736407A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 长谷川满;村上元;宫内昭浩;荻野雅彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立制作所 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;B29C59/02;B29C59/04;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 郭小军 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供可以使在被转印材料上转印图案得到的产品(装置)的性能稳定的图案转印装置以及图案转印方法。本发明的图案转印装置(1A)的特征在于具备：在进行微小凹凸图案的图案转印之前对模(2)或者被转印材料(3)实施规定表面处理的前处理机构(脱模剂供给机构(7))；把与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息记录到与所述被转印材料(3)的进行了图案转印的区域有关联的位置上的信息记录机构(12)；读取所记录的所述信息的识读机构(13)；根据由所述识读机构(13)识读出的所述信息对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料(3)实施规定后处理的后处理机构(14)。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种图案转印装置，该图案转印装置通过在将具有微小的凹凸图案的模按压在被转印材料上之后从所述被转印材料剥离所述模，向所述被转印材料的表面转印所述凹凸图案，其特征在于，具备：前处理机构，该前处理机构在进行图案转印之前对所述模或者所述被转印材料实施规定的表面处理，信息记录机构，该信息记录机构将与由所述前处理机构实施的所述表面处理相关的信息，记录到与所述被转印材料的进行了图案转印的区域有关联的位置上，识读机构，该识读机构读取被记录的所述信息，和后处理机构，该后处理机构基于由所述识读机构识读出的所述信息，对所述进行了图案转印的区域的所述被转印材料实施规定的后处理。
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