[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备

摘要

提供了波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。该波长可变干涉滤波器即标准具包括固定基板和与固定基板相对的可动基板。固定基板包括通过接合膜与可动基板接合的第一接合面和形成有第一电极的一部分的第一电极面。可动基板包括通过接合膜与第一接合面接合的第二接合面和形成有第二电极的一部分的第二电极面。在固定基板与可动基板通过接合膜接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触。

主权项

一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板；与所述第一基板彼此相对的第二基板；设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一反射膜；设置在所述第二基板上、隔着规定的间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一电极；设置在所述第二基板上、与所述第一电极相对的第二电极；设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上、并比所述第一电极靠近所述第一反射膜的第一驱动电极；以及设置在所述第二基板上且设置在与所述第一电极相对的面上、并从所述第二电极延伸形成的第二驱动电极，所述第一基板包括形成有所述第一电极的一部分的第一电极面，所述第二基板包括形成有所述第二电极的一部分的第二电极面，所述第二驱动电极以与设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的所述第一驱动电极相对的方式配置，所述第一电极面上的第一电极通过接触所述第二电极面上的第二电极而彼此电连接。