[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、包括该波长可变干涉滤波器的光模块以及包括该光模块的光分析设备。

背景技术

目前已知的波长可变干涉滤波器是在一对基板彼此相对的面上隔着规定的间隙相对配置各反射膜，在各基板彼此相对的面上设置各驱动电极。在该波长可变干涉滤波器中，通过向驱动电极之间施加电压，从而通过静电引力调整反射膜间的间隙。

在这种波长可变干涉滤波器中，在各基板上形成从各驱动电极延伸的引出电极，需要对这些引出电极进行施加电压用的配线。但是，由于各引出电极设置在一对基板彼此相对的面上，因此具有很难进行配线作业等问题。

因此，提出了能够更容易实施这种配线作业的结构的方案(例如参照专利文献1)

该专利文献1所述的装置是包括反射镜基板和配线基板的可变形状反射镜。该可变形状反射镜包括彼此相对的反射镜基板和配线基板。反射镜基板包括：在与配线基板不相对的面形成有反射膜的可挠曲性薄膜、设置在可挠曲性薄膜的与配线基板相对的面上的膜侧相对电极、以及在膜侧相对电极上配线的反射镜基板侧接合垫。此外，配线基板包括：与膜侧相对电极相对的配线基板侧相对电极、在配线基板侧相对电极上配线的配线基板侧接合垫以及与配线基板侧相对电极连接的外部连接用垫。另外，反射镜基板侧接合垫和配线基板侧接合垫之间通过金凸块进行机械且电接合。

但是，在上述专利文献1所述的可变形状反射镜中，为了电连接反射镜基板侧接合垫和配线基板侧接合垫之间，需要另外设置金凸块等导电性的中间部件，具有不容易确保导通这些接合垫之间的问题。

专利文献1：特开2008261951号公报

发明内容

本发明的目的在于提供用简便的操作就能够导通电极间的波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备。

本发明的波长可变干涉滤波器包括：第一基板；与上述第一基板彼此相对的第二基板；设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一反射膜；设置在上述第二基板上、隔着规定的间隙与上述第一反射膜相对的第二反射膜；设置在上述第一基板的与上述第二基板相对的面上的第一电极；以及设置在上述第二基板上、与上述第一电极相对的第二电极，上述第一基板包括形成有上述第一电极的一部分的第一电极面，上述第二基板包括形成有上述第二电极的一部分的第二电极面，上述第一电极面上的第一电极通过接触与上述第二电极面上的第二电极电连接。

根据本发明，第一基板包括形成有第一电极的一部分的第一电极面，第二基板包括形成有第二电极的一部分的第二电极面。并且，各基板在通过接合层接合的状态下，形成在第一电极面上的第一电极与形成在第二电极面上的第二电极接触，因此无需形成现有的用于导通上述电极间的金凸块等，用简单的结构就可以导通电极间。另外，接合层不局限于使用金属层的结构，可以使用能够将基板间彼此接合的任何接合层，接合方法的自由度将很大。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选上述第二基板的设置上述第二电极面的部位是在上述第二基板的厚度方向上具有可挠曲性的可挠曲部。

当第一电极与第二电极接触时，有时应力通过该接触压施加在第二极板上。尤其是，为了提高第一电极面上的第一电极和第二电极面上的第二电极的导通可靠性，当压接这些电极时，有时大的应力施加在第二基板上。而在本发明中，由于第二基板的设置第二电极面的部位是可挠曲部，因此通过可挠曲部的挠曲，可以释放第一电极与第二电极接触时的接触压产生的应力，第二基板不会因应力而挠曲，可以防止波长可变干涉滤波器上的分辨率降低。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，上述第一基板和上述第二基板通过接合膜彼此接合，上述第一电极面上的上述第一电极的厚度尺寸与上述第二电极面上的上述第二电极的厚度尺寸之和大于上述接合膜的厚度尺寸。

在本发明中，由于第一电极与第二电极的厚度尺寸之和大于接合膜的厚度尺寸，因此，如果通过接合膜接合第一基板和第二基板，第一电极面上的第一电极与第二电极面上的第二电极就成为压接状态。因此，可以通过压接确保第一电极与第二电极进行面接触，可以提高导通可靠性。另外，此时由于第二基板具有可挠曲部，因此可以释放通过压接而施加在第二基板上的应力。另外，如果可挠性部具有弹性，则相对于可挠曲部的挠曲产生反作用力(复原力)，因此第一电极与第二电极通过该反作用进一步压接，可以进一步提高第一电极和第二电极的导通可靠性。