[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析设备

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：

第一基板；

与所述第一基板彼此相对的第二基板；

设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一反射膜；

设置在所述第二基板上、隔着规定的间隙与所述第一反射膜相对的第二反射膜；

设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的面上的第一电极；以及

设置在所述第二基板上、与所述第一电极相对的第二电极，

所述第一基板包括形成有所述第一电极的一部分的第一电极面，

所述第二基板包括形成有所述第二电极的一部分的第二电极面，

所述第一电极面上的第一电极通过接触所述第二电极面上的第二电极而彼此电连接。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，所述第二基板的设置所述第二电极面的部位是在所述第二基板的厚度方向上具有可挠曲性的可挠曲部。

3.根据权利要求2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一基板和所述第二基板通过接合膜彼此接合，

所述第一电极面上的所述第一电极的厚度尺寸与所述第二电极面上的所述第二电极的厚度尺寸之和大于所述接合膜的厚度尺寸。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一基板包括设置于与所述第二基板相对的面上的第一接合面，

所述第二基板包括与所述第一接合面相对、通过接合膜与所述第一接合面接合的第二接合面，

所述第一电极面和所述第一接合面设置在同一平面上，

所述第二电极面和所述第二接合面设置在同一平面上。

5.一种光模块，其特征在于，包括：

根据权利要求1至4中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及

接收透过了所述波长可变干涉滤波器的检查对象光的光接收部。

6.根据权利要求5所述的光模块，其特征在于，

所述光模块包括将所述第一电极面和所述第二电极面向彼此接近的方向按压的按压部。

7.根据权利要求6所述的光模块，其特征在于，

所述光模块包括收纳所述波长可变干涉滤波器的收纳箱体，

所述按压部设置在所述收纳箱体中。

8.一种光分析设备，其特征在于，包括：

根据权利要求5至7中任一项所述的光模块；以及

基于所述光模块的所述光接收部接收的光来分析所述检查对象光的光特性的分析处理部。