[发明专利]薄膜太阳能电池制造系统

摘要

本发明公开了一种薄膜太阳能电池制造系统，包括炉腔；托座，设置在炉腔内；具有第一前置层的硬基板，第一前置层包括第一IB族与IIIA族，及具有第二前置层的可挠式基板，第二前置层包括第二IB族与IIIA族；气体控制器，用来通入反应气体至炉腔内：以及加热器，用来提高炉腔内的温度，以使反应气体与第一前置层与第二前置层反应以形成黄铜矿结构，用来同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池，或提高可挠式基板太阳能电池的产能。

主权项

一种薄膜太阳能电池的制造系统，其特征在于，所述制造系统包括：炉腔；托座，设置在所述炉腔内；具有第一前置层的硬基板，所述第一前置层包括第一IB族与IIIA族；具有第二前置层的可挠式基板，所述第二前置层包括第二IB族与IIIA族；气体控制器，所述气体控制器用来通入反应气体至所述炉腔内；以及加热器，所述加热器用来提高所述炉腔内的温度，以使所述反应气体与所述第一前置层与所述第二前置层反应以形成黄铜矿结构。