[发明专利]薄膜太阳能电池制造系统无效
申请号: | 201210032641.6 | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN103022243A | 公开(公告)日: | 2013-04-03 |
发明(设计)人: | 李适维;蔡耀仓;林明弘 | 申请(专利权)人: | 绿阳光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京市浩天知识产权代理事务所 11276 | 代理人: | 刘云贵 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 制造 系统 | ||
技术领域
本发明涉及一种制造系统,特别是有关一种同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池,或提高可挠式基板太阳能电池产能的制造系统。
背景技术
硬基板太阳能电池一般利用硒化技术制作。可挠式基板太阳能电池一般则利用卷绕传输(R2R)技术以共蒸方式制作,而卷绕传输技术无法应用在制造硬基板的太阳能电池。卷绕传输技术所使用的共蒸镀方式需使用线性蒸镀源,例如铜靶,其靶材需在极高的温度下才可进行共蒸镀,并且靶材的挥发量不易控制,不利用市场量产的需求。因此,若能设计一种可利用硒化技术同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池以提高产能的制造系统,即为现今太阳能面板产业亟需努力发展的重要课题
发明内容
本发明提供一种薄膜太阳能电池制造系统,以同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池,或提高可挠式基板太阳能电池的产能的制造系统,以解决上述的问题。
基于上述目的,本发明公开一种薄膜太阳能电池的制造系统。制造系统包括炉腔;托座,设置在炉腔内;具有第一前置层的硬基板,第一前置层包括第一I B族与III A族;具有第二前置层的可挠式基板,第二前置层包括第二I B族与III A族;气体控制器,气体控制器用来通入反应气体至炉腔内:以及加热器,加热器用来提高炉腔内的温度,以使反应气体同时与第一前置层与第二前置层反应以形成黄铜矿结构。
基于上述目的,本发明还公开所述薄膜太阳能电池制造系统進一步包括固定元件。所述固定元件包括主体,其用来承载硬基板与可挠式基板;以及卡勾部,设置在主体的一个侧边。卡勾部用来止挡在硬基板与可挠式基板所形成的组合的一个端面,以防止硬基板与可挠式基板分离。
基于上述目的,本发明还公开所述薄膜太阳能电池制造系统進一步包括固定元件。所述固定元件还包括两个卡勾部,分别设置在主体的两个侧边。两个卡勾部分别用来止挡在硬基板与可挠式基板所形成的组合的两个端面,以防止硬基板与可挠式基板分离。
基于上述目的,本发明还公开硬基板与可挠式基板以各自底板相抵靠的方式固定而形成组合。
基于上述目的,本发明还公开可挠式基板部分折曲以挂扣在硬基板而形成组合,并且托座用来承载组合。
基于上述目的,本发明还公开第一I B族与第二I B族包括铜,及第一IIIA族与第二IIIA族包括铟、镓或其组合。
基于上述目的,本发明还公开加热器用来将炉腔内的温度提高至400℃~550℃。
基于上述目的,本发明还公开可挠性基板为金属箔片。
基于上述目的,本发明还公开反应气体为硒化氢或硫化氢。
基于上述目的,本发明还公开一种薄膜太阳能电池的制造系统。制造系统包括有炉腔;托座,设置在炉腔内;支撑件;两个具有前置层的可挠式金属基板,前置层包括I B族与IIIA族,并且这些可挠式金属基板分别以其底板抵靠在支撑件的两个端面而形成组合;气体控制器,气体控制器用来通入反应气体至炉腔内:以及加热器,加热器用来提高炉腔内的温度,以使反应气体与前置层反应以形成黄铜矿结构。
根据上述技术方案,本发明的制造系统可同时制作硬基板太阳能电池与可挠式基板太阳能电池,或提高可挠式基板太阳能电池的产能,并可通过多种类的排列方式,将硬基板与可挠式基板以背对背(或面对面)方式与面对背(或背对面)方式安装在托座内,以达到提高产能的目的。
附图说明
图1为本发明实施例的薄膜太阳能电池的制造系统的功能方块示意图。
图2为本发明的第一实施例的固定元件的示意图。
图3为本发明的第二实施例的固定元件的示意图。
图4为本发明的第三实施例的固定元件的示意图。
图5为本发明另一实施例的硬基板与可挠式基板的组合示意图。
图6与图7分别为本发明不同实施例的硬基板与可挠式基板的配置示意图
其中,附图标记说明如下:
10 制造系统 12 炉腔
14 托座 16、16A、
固定元件
16B
161 主体 163 卡勾部
18 气体控制器 20 加热器
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