[发明专利]用于带电粒子显微术中的检测方法有效
| 申请号： | 201210032344.1 | 申请日： | 2012-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN102637571A | 公开（公告）日： | 2012-08-15 |
| 发明（设计）人： | P.哈拉文卡;M.昂科夫斯基 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 蒋骏;王忠忠 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC®等。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 带电 粒子 显微 中的 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种利用带电粒子显微镜（400,500）研究样本的方法，包括步骤：‑提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱（402,510）；‑利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；‑用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；‑利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，其特征在于：‑将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器（1）；‑调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；‑匹配所述增益值与所述通量的大小，以便使固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。
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