[发明专利]用于带电粒子显微术中的检测方法

权利要求书

1.一种利用带电粒子显微镜（400,500）研究样本的方法，包括步骤：

-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱（402,510）；

-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；

-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；

-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，

其特征在于：

-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器（1）；

-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；

-匹配所述增益值与所述通量的大小，以便使固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。

2.根据权利要求1的方法，其中：

-输出辐射的所述一部分包括粒子辐射；

-采用闪烁器（3）将至少一些所述粒子辐射转换为光子辐射；

-使所述光子辐射指向所述固态光电倍增器（1）。

3.根据权利要求2的方法，其中：

-闪烁器（3）和固态光电倍增器（1）以层叠结构在其间插进插入的光学透明分离器层（5）；

-层叠结构被部分地封装在电绝缘材料的夹套（7）中，让闪烁器的至少一部分被暴露。

4.根据权利要求1至3任意一项的方法，其中检测器是包括多个固态光电倍增器的空间分布式结构，所述多个固态光电倍增器放置在成像射束与样本的交点周围。

5.根据权利要求1至4任意一项的方法，其中检测器（130,420,530）位于粒子光柱（402,510）之内。

6.根据权利要求5的方法，其中配备样本夹持器以便于在粒子光柱的电磁场之内放置样本。

7.根据前述权利要求任意一项的方法，其中所述带电粒子显微镜从包括扫描电子显微镜、透射电子显微镜、扫描透射电子显微镜、聚焦离子射束工具、电子射束诱发沉积工具、离子射束诱发沉积工具、双射束带电粒子显微镜、临界尺寸显微镜、光刻工具、以及其混合的组中选择。

8.根据前述权利要求任意一项的方法，其中所述检测器从包括：

-固态光电倍增器；

-具有共享检测电路的芯片内像素化的雪崩光电二极管的阵列；

-多像素光子计数器，

及其组合的组中选择。

9.一种带电粒子显微镜（400,500），被构造和布置为执行如权利要求1至8任意一项中所要求保护的方法。