[发明专利]质量分析装置有效
申请号: | 201210031337.X | 申请日: | 2012-02-13 |
公开(公告)号: | CN102737951A | 公开(公告)日: | 2012-10-17 |
发明(设计)人: | 能田弘行;大沼满;佐藤庸子;石黑浩二;诸熊秀俊;大月繁夫;衣斐奈美 | 申请(专利权)人: | 株式会社日立高新技术 |
主分类号: | H01J49/00 | 分类号: | H01J49/00;H01J49/02 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;於毓桢 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种排热效果及重量平衡良好的小型质量分析装置。该质量分析装置是将重量件配置在高度尺寸H小于横宽尺寸W且进深尺寸D小于该高度尺寸H的箱体(100)的中央,并在横宽方向的两侧设置将多个电路基板9(50)分散收放的电路基板收放部(60),该重量件包括:真空室(10);使该真空室(10)成为真空的真空泵(15);放入测定的试样并使其气化的试样插入部(30);使气化的试样离子化并提供给真空室(10)的离子化部;以及与真空室(10)连接的离子检测器(25)。 | ||
搜索关键词: | 质量 分析 装置 | ||
【主权项】:
一种质量分析装置,其特征在于:在箱体的中央配置重量件,并在该箱体的两侧具备将多个电路基板分开收放的电路基板收放部,该重量件包括:真空室、使该真空室成为真空的真空泵、导入测定的试样并使其气化的试样导入部、使该气化了的试样离子化并提供给所述真空室的离子化部、以及与所述真空室连接的离子检测器。
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