[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 201210023615.7 | 申请日： | 2012-02-03 |
| 公开（公告）号： | CN102732837A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 山本健一;三宅龙也;玉腰武司;松浦宏育;峰川英明;矢崎秋夫;楠敏明;尾方智彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 黄永杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明以低成本提供一种具有防止Al的向上蠕动或Al蒸气浸入而难以引起破损的蒸发源的蒸镀装置。该蒸镀装置在真空腔室内具有蒸镀源单元(26)，其中，上述蒸镀源单元(26)具有：收容蒸发材料(5)的坩埚(1)、安装于上述坩埚(1)的开口部的喷嘴(2)、包围上述坩埚(1)并收容加热器(3)的加热室(10)、和固定件(7)，在上述坩埚(1)的内壁和上述加热室(10)之间具有切口(12)，该切口(12)阻止在上述坩埚(1)中熔融了的上述蒸发材料(5)或上述蒸发材料(5)的蒸气侵入到上述加热室(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，在上述坩埚的内壁和上述加热室之间具有切口，该切口阻止在上述坩埚中熔融了的上述蒸发材料或上述蒸发材料的蒸气侵入到上述加热室。
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