[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，

上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，

在上述坩埚的内壁和上述加热室之间具有切口，该切口阻止在上述坩埚中熔融了的上述蒸发材料或上述蒸发材料的蒸气侵入到上述加热室。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，上述喷嘴是向上述固定件的上方露出的结构。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述喷嘴的开口是横向的。

4.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述蒸发源单元的轴倾斜地配置，

上述喷嘴的开口是横向的。

5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，在上述喷嘴具备辅助加热器，

上述喷嘴加热到上述蒸发源的熔点以上。

6.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述辅助加热器为嵌入到了坩埚内的结构。

7.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，上述加热室形成于上述坩埚和包围上述坩埚的外筒之间的空间，上述坩埚的凸缘具有延伸到上述外筒的外部侧面的坩埚外延部，并且，坩埚外延部端部从上述固定件侧面端部延伸。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，具有上述坩埚外延部的蒸发源，在上述外筒的外部具有用于冷却上述外筒的冷却机构。

9.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，具有上述坩埚外延部的蒸发源，在外筒自身的内部具有用于冷却上述外筒的冷却机构。

10.一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，

上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，

上述坩埚具有凸缘，与上述坩埚的凸缘的上方相向地存在固定件，

与上述坩埚的内端相比，上述固定件的内端更靠外侧地存在。

11.一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，

上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，

上述坩埚具有凸缘，

上述喷嘴安装于上述坩埚，在包括上述喷嘴的开口部的平面不存在相向的部件。

12.根据权利要求10或11所述的蒸镀装置，其特征在于，上述喷嘴相对于包括上述坩埚的凸缘的平面向垂直方向外侧突出地形成。

13.一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，

上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，

上述坩埚具有凸缘，

上述喷嘴的下端存在于上述坩埚的内壁，

上述喷嘴是平板，在上述喷嘴的外侧相向部分不存在其他的部件。

14.一种蒸镀装置，其在真空腔室内具有蒸镀源单元，其特征在于，

上述蒸镀源单元具有：收容蒸发材料的坩埚、安装于上述坩埚的开口部安装的喷嘴、包围上述坩埚并收容加热器的加热室、和固定件，

上述坩埚具有凸缘，

上述喷嘴的下端存在于上述坩埚的内壁，

上述喷嘴是筒状，相对于包括上述坩埚的凸缘的平面向垂直方向外侧突出，

上述喷嘴的前端部为平面，在上述平面形成开口。