[发明专利]快速热退火装置无效
| 申请号： | 201210018609.2 | 申请日： | 2012-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN103215650A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 蒋猛;刘志强 | 申请（专利权）人： | 无锡尚德太阳能电力有限公司;四川尚德太阳能电力有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;H01L21/324 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 俞华梁;王忠忠 |
| 地址： | 214028 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种快速热退火装置，包括：用于置放衬底的衬底承载单元；在其中放置用于制造气氛的固体物质的坩埚；以及置于所述衬底和所述坩埚之间的加热装置，所述加热装置用于使所述坩埚中的固体物质蒸发以及向上加热所述衬底架中的衬底。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 退火 装置 | ||
【主权项】：
一种快速热退火装置，包括：衬底承载单元，用于置放衬底；坩埚，在其中放置用于制造气氛的固体物质；以及加热装置，置于所述衬底和所述坩埚之间，用于使所述坩埚中的固体物质蒸发以及向上加热所述衬底架中的衬底。
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