[发明专利]快速热退火装置

权利要求书

1. 一种快速热退火装置，包括：

衬底承载单元，用于置放衬底；

坩埚，在其中放置用于制造气氛的固体物质；以及

加热装置，置于所述衬底和所述坩埚之间，用于使所述坩埚中的固体物质蒸发以及向上加热所述衬底架中的衬底。

2. 如权利要求1所述的快速热退火装置，其中，所述衬底承载单元为衬底架，所述衬底由衬底架支撑。

3. 如权利要求1所述的快速热退火装置，其中，所述衬底承载单元为传动轮，所述衬底由传动轮支撑，并由所述传动轮带动衬底移动。

4. 如权利要求1所述的快速热退火装置，其中所述加热装置为能够提供快速加热源的卤素灯或卤素灯阵列。

5. 如权利要求4所述的快速热退火装置，其中所述卤素灯阵列按平行排列。

6. 如权利要求5所述的快速热退火装置，其中在所述卤素灯阵列中，卤素灯之间的间距为1至5厘米，平整度为±5毫米。

7. 如权利要求4所述的快速热退火装置，其中所述卤素灯阵列按插指状排列。

8. 如权利要求7所述的快速热退火装置，其中，在所述卤素灯阵列中，卤素灯相互错开1/2的卤素灯长度，列与列之间的距离为1至5厘米，平整度为±5毫米。

9. 如权利要求1所述的快速热退火装置，其中所述坩埚为石墨坩埚、石英坩埚或其它耐高温的陶瓷坩埚。

10. 如权利要求1所述的快速热退火装置，其中所述坩埚的宽度大于薄膜的宽度。

11. 如权利要求2所述的快速热退火装置，其中所述衬底架具有用于放置衬底的凹槽，其中要进行退火的衬底表面向下放置。

12. 如权利要求1所述的快速热退火装置，还包括：

真空系统，用于实现快速热退火装置的真空。

13. 如权利要求12所述的快速热退火装置，其中所述真空系统为机械泵、罗茨泵、分子泵、扩散泵或其任意组合。

14. 如权利要求1所述的快速热退火装置，还包括：

供气系统，用于提供保护气体，以便实现在特定气体条件下的保护气体退火。

15. 如权利要求1所述的快速热退火装置，还包括：

第一固定调节装置，所述第一固定调节装置用于固定衬底承载单元，并且调节衬底与加热装置之间的距离；和

第二固定调节装置，所述第二固定调节装置用于固定加热装置，并且调节所述加热装置与所述坩埚、所述加热装置与所述衬底承载单元之间的距离。

16. 如权利要求1所述的快速热退火装置，还包括：

分别用于测量衬底、加热装置和坩埚内温度的第一、第二和第三温度检测装置。

17. 如权利要求16所述的快速热退火装置，其中所述第一、第二和第三温度检测装置为K型热电偶。