[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置有效
| 申请号： | 201210017655.0 | 申请日： | 2012-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN102608689A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 佐野朗;松野靖史;北原浩司 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28;G02B26/00;G01J3/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;梁韬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。标准具包括第一基板；与第一基板相对的第二基板；在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的固定反射镜；设置于第二基板上并介由反射镜间间隙与固定反射镜相对的可动反射镜；以及在第一基板的与第二基板相对的表面上设置的第一电极；并且具有第一电极的一部分与固定反射镜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。 | ||
| 搜索关键词： | 波长 可变 干涉 滤波器 模块 以及 分析 装置 | ||
【主权项】：
一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板彼此相对；第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；第二反射膜，设置在所述第二基板上、与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对；以及第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上，并且具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。
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