[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板；

第二基板，与所述第一基板彼此相对；

第一反射膜，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；

第二反射膜，设置在所述第二基板上、与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对；以及

第一电极，设置在所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上，并且

具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第二电极，设置在所述第二基板的与所述第一基板相对的表面上，并且

具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠而成的第二层叠阻止部。

3.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，

所述第一电极和所述第二电极是通过被施加电压而改变所述间隙的尺寸的驱动电极。

4.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述第二基板上设置有与所述第一电极相对的第二电极，

所述第一电极和所述第二电极是测定保持在所述第一电极和所述第二电极之间的静电电容的静电电容测定用电极。

5.根据权利要求1或2所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一电极是去除所述第一反射膜的电荷的电荷去除用电极。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一层叠阻止部中所述第一反射膜和所述第一电极从所述第一基板侧依次层叠。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一层叠阻止部中所述第一电极和所述第一反射膜从所述第一基板侧依次层叠。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述第一电极用非透光性材料形成，

在从所述第一基板和第二基板的基板厚度方向看的俯视图中，所述第一层叠阻止部被设置为限定从所述第一反射膜和第二反射膜透射的入射光的光透射区域的环状。

9.根据权利要求8所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述第二基板的与所述第一基板相对的表面上设有所述第二电极，

所述第二电极的一部分层叠于所述第二反射膜的外周边缘，构成环状的第二层叠阻止部，

在从所述第一基板和所述第二基板的基板厚度方向看所述第一基板和所述第二基板的俯视图中，所述第一层叠阻止部的内径尺寸比所述第二层叠阻止部的内径尺寸小。

10.一种光模块，其特征在于，具备：

权利要求1至权利要求9中任一项所述的波长可变干涉滤波器；以及

接收从所述波长可变干涉滤波器透射的检查对象光的光接收部。

11.一种光分析装置，其特征在于，具备：

权利要求10所述的光模块；以及

基于由所述光模块的所述光接收部接收的光分析所述检查对象光的光特性的分析处理部。

12.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一反射膜；

与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对的第二反射膜；以及

第一电极，

具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一突起部。

13.根据权利要求12所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

具备与所述第一电极相对设置的第二电极，并且

具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠而成的第二突起部。

14.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：

第一反射膜；

与所述第一反射膜隔开既定间隙而对置的第二反射膜；以及

通过电极和所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的、用于防止所述第一反射膜和所述第二反射膜的粘附的突起部。

15.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具有：

第一反射膜；

与所述第一反射膜隔开既定间隙而相对的第二反射膜；以及

设置于所述第一反射膜的外周边缘的突起部，

设所述间隙为R1、所述突起部与所述第二反射膜的间隔为R2时，R1＞R2。