[发明专利]波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置

说明书

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器、具备该波长可变干涉滤波器的光模块以及具备该光模块的光分析装置。

背景技术

现有技术中已知在一对基板的彼此相对的表面上以既定间隙分别相向配置有反射膜的可变干涉装置(波长可变干涉滤波器)(例如参照专利文献1)。

在专利文献1记载的波长可变干涉滤波器中，为了调整间隙，在一对反射膜的彼此相对的表面上相向地配置电极，可以通过向各电极施加驱动电压，利用静电引力调整间隙。由此，波长可变干涉滤波器能仅透射对应于该间隙的特定波长的光。即，波长可变干涉滤波器对入射光在一对反射膜间使光发生多重干涉，从而仅透射因多重干涉而彼此增强的特定波长的光。

专利文献1：特开平1-94312号公报

发明内容

然而，在这样的波长可变干涉滤波器的制造工序中，在将基板彼此接合的工序中，反射膜之间可能彼此粘附。另外，可能在调整间隙时反射膜之间出现彼此粘附、或因施加外力时的冲击而在反射膜之间出现彼此粘附。由于一旦发生上述的反射膜之间的粘附，则会损坏反射膜的表面，因而反射膜的光学特性(透射率、反射率)下降。

因此，为了防止反射膜之间的粘附，可以考虑在反射膜的附近设置突起部。

然而，在设置这样的突起部的情况下，在波长可变干涉滤波器的制造工序中，存在需要另行设置突起部的工序并且使结构复杂化的问题。

本发明的目的在于，以简洁的结构提供能够防止反射膜之间的粘附的波长可变干涉滤波器、光模块以及光分析装置。

本发明的波长可变干涉滤波器的特征在于，具备：第一基板；第二基板，与所述第一基板彼此相对；第一反射膜，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；第二反射膜，设置于所述第二基板上，并隔着既定间隙与所述第一反射膜相对；以及第一电极，设置于所述第一基板的与所述第二基板相对的表面上；并且具有所述第一电极的一部分与所述第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。

依据本发明，具有第一电极的一部分与第一反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第一层叠阻止部。由此，第一层叠阻止部与第二反射膜之间的尺寸比反射膜之间的间隙的尺寸小。因此，在反射膜间的间隙尺寸变小的情况下，第一层叠阻止部和第二反射膜接触，从而能够防止反射膜之间的粘附。

另外，依据本发明，第一层叠阻止部由第一电极与第一反射膜层叠形成，因而不需要在反射膜另行设置上述的突起部，能够通过实施形成第一反射膜及第一电极的工序来设置，因此能够简化制造工序，而且能简化结构。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选具备设置于所述第二基板的与所述第一基板相对的表面的第二电极，具有所述第二电极的一部分与所述第二反射膜的外周边缘的至少一部分层叠构成的第二层叠阻止部。

依据本发明，在第二基板形成有第二层叠阻止部。在这样的结构中，在第二基板侧也设置有防止反射膜彼此接触的第二层叠阻塞，因而能够更可靠地防止反射膜之间的接触。

这里，在从基板厚度方向看第一基板及第二基板的俯视图中，在第二层叠阻止部形成于与第一层叠阻止部重叠的位置的情况下，通过第一层叠阻止部和第二层叠阻止部抵接，能够防止第一及第二反射膜的接触。在此情况下，在第一基板和第二基板之间产生第一层叠阻止部的厚度尺寸和第二层叠阻止部的厚度尺寸的合计量的间隙。因而，例如与仅通过第一层叠阻止部防止反射膜彼此接触的情况相比，能够增大反射膜间的间隙尺寸，从而能够更可靠地防止反射膜彼此的接触、粘附。

另一方面，所述俯视图中，也可以是第一层叠阻止部和第二层叠阻止部设置于完全不重叠的位置的结构。在此情况下，与仅通过第一层叠阻止部防止反射膜之间的接触、粘附的情况相比，能够使防止反射膜彼此接触、粘附的阻止部的面积增大设置的第二层叠阻止部的面积，从而能够对抗更强的应力。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选在所述第二基板设置与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极及所述第二电极是通过被施加电压而改变所述间隙的尺寸的驱动电极。

依据本发明，第一电极及第二电极是驱动电极，因而能够兼作改变间隙的尺寸的间隙改变部。即，在波长可变干涉滤波器的制造工序中，不需要另行设置上述的突起部的工序，通过形成第一反射膜的工序和形成驱动电极的工序，很容易形成第一层叠阻止部、简化制造工序并且简化结构。

在本发明的波长可变干涉滤波器中，优选在所述第二基板设置与所述第一电极相对的第二电极，所述第一电极及所述第二电极是测定在所述第一电极及所述第二电极之间保持的静电电容的静电电容测定用电极。