[发明专利]激光退火方法以及装置

摘要

本发明涉及激光退火方法以及装置。在透镜阵列方式的均化器光学系统的情况下，一边使长轴用透镜阵列（20a、20b）在与线状光束的长轴方向对应的方向（X方向）往复移动，一边进行激光照射，由此，入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜（长轴用聚光透镜22）的激光（1）的入射角以及强度按照每次发射而变化，所以，纵向条纹被大幅度降低。另外，一边使短轴用透镜阵列（26a、26b）在与线状光束的长轴方向对应的方向（Y方向）往复移动，一边进行激光照射，由此，入射到在后级设置的构成长轴用聚光光学系统的大型透镜（投影透镜30）的激光（1）的入射角以及强度按照每次发射而变化，所以，横向条纹被大幅度降低。

主权项

一种激光退火方法，对由脉冲振荡产生的激光进行整形，在被照射物的表面聚光成线状光束，以重复照射激光的方式使线状光束对被照射物在线状光束的短轴方向相对地扫描，利用激光照射对被照射物的表面进行退火处理，其特征在于，利用长轴用导入透镜向长轴用波导导入激光，利用所述长轴用波导，将激光在与线状光束的长轴方向对应的方向上分割为多个，利用长轴用聚光光学系统，在被照射物的表面，将被所述长轴用波导分割后的激光在长轴方向上叠加，在激光照射中，使所述长轴用导入透镜在与线状光束的长轴方向对应的方向上往复移动，所述往复移动的所述长轴用导入透镜的移动宽度S为在被照射物的表面能够目视出现的线状光束的长轴方向的条纹图样的间距P的1/3以上。