[发明专利]真空隔离阀装置无效
| 申请号： | 201210011850.2 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103206552A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 胡冬冬;周宗义;刘训春;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K3/02 | 分类号： | F16K3/02;F16K27/04;F16K51/02 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 公开了一种真空隔离阀装置，包括：设置有方孔结构的阀体、密封部件、连接过渡部件及活动阀板；所述密封部件设置在所述阀体上端中央位置，用于半导体真空腔室之间连通时的密封；所述连接过渡部件通过所述密封部件与所述活动阀板连接，通过外力作用控制所述活动阀板的升降。本发明提供的一种真空隔离阀装置，能缩小硅片传输距离或使传输距离可调整，便于装配、维修；结构简单，节约材料及生产加工成本，可实现同不同腔体连接，机构简单、成本经济、稳定性高、便于维护。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 隔离 装置 | ||
【主权项】：
一种真空隔离阀装置，其特征在于，包括：设置有方孔结构的阀体、密封部件、连接过渡部件及活动阀板；所述密封部件设置在所述阀体上端中央位置，用于半导体真空腔室之间连通时的密封；所述连接过渡部件通过所述密封部件与所述活动阀板连接，通过外力作用控制所述活动阀板的升降。
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