[发明专利]有机发光二极管蒸镀方法无效
| 申请号： | 201210010688.2 | 申请日： | 2012-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103205676A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;郑庆靓 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;H01L51/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种有机发光二极管的蒸镀方法，主要解决现有OLED制造技术中，蒸镀时有机颗粒由于掩模板开口壁的遮蔽而无法达到基板的技术问题，本发明通过采用一种有机电致发光二极管的蒸镀方法，包括如下几个步骤：把掩模板的ITO面和ITO半导体玻璃面结合，把掩模板的蒸镀面对应有机蒸镀源；蒸发有机材料，使有机材料通过掩模板上的沟槽状开口，附着到和ITO半导体玻璃面上；分离掩模板和ITO半导体玻璃，完成蒸镀；其中，蒸镀用掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物（ITO）面接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的沟槽状开口，开口在ITO面上的尺寸小于在蒸镀面上的尺寸的技术方案，较好地解决了该问题，可用于有机发光二级管的工业生产中。 | ||
| 搜索关键词： | 有机 发光二极管 方法 | ||
【主权项】：
一种有机发光二极管的蒸镀方法，包括如下几个步骤：把蒸镀用沟槽掩模板的ITO面和ITO半导体玻璃面结合，把掩模板的蒸镀面对应有机蒸镀源；蒸发有机材料，使有机材料通过掩模板上的沟槽，附着到和ITO半导体玻璃面上；分离掩模板和ITO半导体玻璃，完成蒸镀；其中，所述蒸镀用沟槽掩模板，形状为四边形金属板，包括与铟锡氧化物（ITO）面接触的ITO面和蒸镀面两个面，所述掩模板上具有贯通ITO面和蒸镀面的沟槽状开口，ITO面的开口和蒸镀面开口中心重合，所述槽状开口相互间隔且相互平行；开口在ITO面上的开口面积小于在蒸镀面上的开口面积。
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