[发明专利]一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统无效
| 申请号： | 201210005208.3 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102564654A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 申亚京;尚万峰 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/04 | 分类号： | G01L1/04;H01J37/28 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 710054 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，包括扫描电子显微镜的基座和操作器，在操作器上固定有激光测力器，该激光测力器通过光纤与位于扫描电子显微镜外部的激光控制器相连接；所述的激光测力器包括有激光头，悬臂梁，滑块和固定块，其中，悬臂梁连接在固定块上，滑块和固定块通过螺栓相连接，激光头穿过滑块对准悬臂梁。工作时，样品对悬臂梁端部的反作用力会导致悬臂量发生变形，该变形可通过激光器实时测得。力的大小是通过实时计算激光距离的变化获得。其体积小，结构简单，稳定性高，实时性强，可在真空下工作，特别适合在电子显微镜内部实现对显微样本的操作和测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 电子显微镜 内部 激光 测力 系统 | ||
【主权项】：
一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，包括扫描电子显微镜的基座(8)和操作器(3)，其特征在于，在操作器(3)上固定有激光测力器(4)，该激光测力器(4)通过光纤(2)与位于扫描电子显微镜外部的激光控制器(1)相连接；所述的激光测力器(4)包括有激光头(41)，悬臂梁(42)，滑块(43)和固定块(44)，其中，悬臂梁(42)连接在固定块(44)上，滑块(43)和固定块(44)通过螺栓相连接，激光头(41)穿过滑块(43)对准悬臂梁(42)。
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