[发明专利]一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统无效
| 申请号： | 201210005208.3 | 申请日： | 2012-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN102564654A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 申亚京;尚万峰 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | G01L1/04 | 分类号： | G01L1/04;H01J37/28 |
| 代理公司： | 西安恒泰知识产权代理事务所 61216 | 代理人： | 李郑建 |
| 地址： | 710054 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 电子显微镜 内部 激光 测力 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，包括扫描电子显微镜的基座(8)和操作器(3)，其特征在于，在操作器(3)上固定有激光测力器(4)，该激光测力器(4)通过光纤(2)与位于扫描电子显微镜外部的激光控制器(1)相连接；
所述的激光测力器(4)包括有激光头(41)，悬臂梁(42)，滑块(43)和固定块(44)，其中，悬臂梁(42)连接在固定块(44)上，滑块(43)和固定块(44)通过螺栓相连接，激光头(41)穿过滑块(43)对准悬臂梁(42)。
2.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，其特征在于，所述的悬臂梁(42)与激光头(41)垂直安装，悬臂梁(42)和固定块(44)之间通过螺栓固定。
3.如权利要求1所述的用于扫描电子显微镜内部的激光测力系统，其特征在于，所述滑块(43)和固定块(44)之间通过螺栓、垫片和弹簧连接，用来调整激光头(41)和悬臂梁(42)的相对位置。
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