[发明专利]锍化合物、光致产酸剂及其制备方法有效
| 申请号： | 201210004606.3 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102603587A | 公开（公告）日： | 2012-07-25 |
| 发明（设计）人： | 朱炫相;徐东辙;尹队卿;申大铉 | 申请（专利权）人： | 锦湖石油化学株式会社 |
| 主分类号： | C07C381/12 | 分类号： | C07C381/12;C07C309/06;C07C309/12;C07C303/32;C07D307/64;C07D333/46;G03F7/004 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 张晓威 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | [化学式1]本发明涉及锍化合物、光致产酸剂及其制备方法。具体而言，本发明提供了由式(1)表示的锍化合物、光致产酸剂以及制备锍化合物的方法。在式1中，X表示供电子基团；R1和R2各自表示烷基、环烷基等；R3和R4各自表示亚芳基或亚杂芳基；R5和R6各自表示烷基、环烷基等；且A-和B-为彼此不同的阴离子。当所述锍化合物用作光致产酸剂时，其可产生均匀且优异的抗蚀图形。 | ||
| 搜索关键词： | 化合物 光致产酸剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.由下式(1)表示的锍化合物：![]()
[化学式1]其中X表示供电子基团；R1和R2各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R1和R2可与同R1键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；R3和R4各自独立地表示选自亚芳基和亚杂芳基中的任意一种；R5和R6各自独立地表示选自烷基、环烷基、芳基、杂烷基、杂环烷基和杂芳基中的任意一种，或者R5和R6可与同R5键合的硫原子一起结合以形成具有2至7个碳原子的杂环烷基；且A-和B-表示彼此不同的阴离子。
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