[发明专利]一种电容式微机电超声传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 201210001068.2 | 申请日： | 2012-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN102538850A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 高毅品;陈力;黄勇力 | 申请（专利权）人： | 无锡智超医疗器械有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/48 | 分类号： | G01D5/48;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 夏晏平 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市无锡新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及超声波传感器领域，公开了电容式微机电超声传感器及其制作方法，由于现有技术在超声成像时在传感器不同区域传感器的传感效应没有差异，从而成像质量不能得到更进一步的优化；为此，本发明在上、下电极之间形成不均匀等效传感空间，提供的技术方案为传感器由多个基元组成，采用各个基元不同宽度，深度或形状的传感空间，使超声传感器具有不均匀等效传感空间从而形成不均匀的传感效应分布，并利用微机电的方式进行制作，制作出设计需要的传感效应分布，实现需要的孔径孔障，本发明具有发射束明显改善，成像质量高，制作方便，尺寸精确、成本低的有益效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 式微 机电 超声 传感器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种电容式微机电超声传感器，其特征在于，包括至少两个基元，每个基元具有第一电极和第二电极，在每个基元的第一、第二电极之间具有一个等效传感空间；其中至少有两个基元的等效传感空间不一样。
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