[发明专利]质量分析装置有效

专利信息
申请号: 201180076207.1 申请日: 2011-11-04
公开(公告)号: CN104025248A 公开(公告)日: 2014-09-03
发明(设计)人: 朝野夏世 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: H01J49/26 分类号: H01J49/26;G01N27/62;H01J49/42
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 在第一次注入试样之后,在粗调整模式下一边使碰撞能量(CE)电压在宽的电压范围内以稀疏的步宽变化,一边测量源自规定成分的产物离子的强度(S1-S2),在测量结束后按每个CE电压计算最大强度和离子强度在表示该强度的电压前后的变化量(S3-S4)。如果该变化量为阈值以下,则不执行微调整模式,而将在粗调整模式下表示最大强度的CE电压决定为最佳值(在S5中为“否”、S10)。另一方面,如果离子强度变化量超过阈值,则根据针对第一次注入试样的测量结果来决定更窄的CE电压范围和细密的步宽,进行第二次试样注入并在微调整模式下一边使CE电压变化一边测量离子强度(S6-S8)。然后,将在微调整模式下表示最大强度的CE电压决定为最佳值(S9-S10)。由此,能够通过针对最多两次的试样注入的分析来决定CE电压的最佳值。
搜索关键词: 质量 分析 装置
【主权项】:
一种质量分析装置,具有以下功能:基于对试样中的规定成分进行质量分析而得到的结果来执行将该质量分析装置的各部的控制参数最优化的调整,该质量分析装置的特征在于,具备:a)参数设定单元,其是在整个规定范围内以规定步宽变更作为调整对象的控制参数的值的单元,能够在粗调整模式和微调整模式之间进行切换,其中,该粗调整模式是在整个第一规定范围内以第一步宽变更控制参数值的模式,该微调整模式是在整个第二规定范围内以第二步宽变更控制参数值的模式,第二规定范围比第一规定范围窄,第二步宽比第一步宽窄,b)结果获取单元,其每当由上述参数设定单元变更控制参数值时获取与源自规定成分的离子对应的离子强度信息;以及c)参数最优化单元,其在导入试样中的规定成分的期间,利用上述参数设定单元执行粗调整模式,基于在该粗调整模式下由上述结果获取单元获得的离子强度信息求出与控制参数值的固定的变化量对应的离子强度的变化量,基于该离子强度的变化量判断是根据在该粗调整模式下得到的离子强度信息来决定控制参数的最佳值,还是接着执行微调整模式并根据在该微调整模式下由上述结果获取单元获得的离子强度信息来决定控制参数的最佳值。
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