[发明专利]位移量监视电极的构造

摘要

本发明的位移量监视电极的构造在即使固定电极与可动电极的相对关系发生变化也能将检测质量的振幅保持为恒定的目标振幅的基础上，分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于基板被固定的固定电极和能在预定轴向上位移的可动电极以相互的电极指彼此啮合的方式相向配置，基于固定电极与可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量，静电电容的变化量相对于可动电极向预定轴向的位移量的变化灵敏度在该可动电极向该预定轴向的位移达到与检测质量的目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

主权项

一种位移量监视电极的构造，其中，分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于所述基板被固定的固定电极和能在所述预定轴向上位移的可动电极以相互的所述电极指彼此啮合的方式相向配置，基于所述固定电极与所述可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量，所述位移量监视电极的构造的特征在于，所述静电电容的变化量相对于所述可动电极向所述预定轴向的位移量的变化灵敏度具有如下特性：在该可动电极向该预定轴向的位移达到与所述目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。