[发明专利]位移量监视电极的构造

权利要求书

1.一种位移量监视电极的构造，其中，分别由基部及从该基部沿着与基板平行的预定轴向延伸的电极指构成的梳齿状的、相对于所述基板被固定的固定电极和能在所述预定轴向上位移的可动电极以相互的所述电极指彼此啮合的方式相向配置，基于所述固定电极与所述可动电极之间的静电电容的变化量来监视应以目标振幅驱动的检测质量的位移量，所述位移量监视电极的构造的特征在于，

所述静电电容的变化量相对于所述可动电极向所述预定轴向的位移量的变化灵敏度具有如下特性：在该可动电极向该预定轴向的位移达到与所述目标振幅对应的目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

2.根据权利要求1所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述静电电容的变化量相对于所述可动电极从中立位置向所述预定轴向的一方的位移量的变化灵敏度及所述静电电容的变化量相对于所述可动电极从中立位置向所述预定轴向的另一方的位移量的变化灵敏度分别具有所述特性。

3.根据权利要求1或2所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述固定电极及所述可动电极的至少一方形成为，所述固定电极及所述可动电极的所述电极指彼此以预定距离相向的面的总面积的变化灵敏度在该可动电极向所述预定轴向的位移达到所述目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

4.根据权利要求3所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述固定电极及所述可动电极形成为，所述固定电极及所述可动电极的所述电极指彼此以预定距离相向的部位的个数在该可动电极向所述预定轴向的位移达到所述目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比增加。

5.根据权利要求3所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述固定电极及所述可动电极的至少一方形成为，所述固定电极及所述可动电极的所述电极指彼此以预定距离相向的面在垂直于所述基板的方向上的长度在该可动电极向所述预定轴向的位移达到所述目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。

6.根据权利要求1或2所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述固定电极及所述可动电极的至少一方形成为，所述固定电极及所述可动电极的所述电极指彼此相向的间隔在该可动电极向所述预定轴向的位移达到所述目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变小。

7.根据权利要求1或2所述的位移量监视电极的构造，其特征在于，

所述固定电极及所述可动电极的至少一方构成为，所述固定电极及所述可动电极的彼此以预定距离相向的所述电极指之间的介电常数在该可动电极向所述预定轴向的位移达到所述目标位移量之后与达到该目标位移量之前相比变大。