[发明专利]飞行时间型质量分析装置

摘要

说明双级式反射器的实施例。(1)设想由基极电位XA(U)的均匀电场构成的反射器，通过调整其设计参数来抵消全部飞行时间T(E)的E=E0时的一次微分和二次微分，求出电位值为E0的中心轴上的二次收敛位置(Mamyrin解)。(2)以二次收敛位置为起始点，计算与XA(U)叠加的校正电位XC(U)，使得在二次收敛位置的更深侧反射的离子的T(E)固定。(3)确定反射电极的电压值，使得在中心轴上形成实际电位XR(U)=XA(U)+XC(U)。如以上那样，以Mamyrin解的基极电位进行能量补偿到二次为止，但通过叠加校正电位而进一步将能量补偿扩展到无限的高次，对于在校正电位部反射的离子实现完全等时性。另外，在校正电位开始点的前后实际电位平滑地连接，偏离均匀电场的偏差最小，因此最大限度地抑制由离子轨迹的发散和轴偏离造成的时间像差。

主权项

一种飞行时间型质量分析装置，具备：离子射出部，其对分析对象的离子赋予固定的能量来进行加速；离子反射器，其用于通过电场的作用使从该离子射出部射出的离子反射而折返；离子检测器，其检测被该离子反射器反射而从该离子反射器出来的离子；以及反射器驱动单元，其为了在上述离子反射器的内部形成反射电场而驱动该离子反射器，该飞行时间型质量分析装置的特征在于，上述反射器驱动单元向该离子反射器施加电压，使得在设沿着上述离子反射器的中心轴的坐标为X时，电位在该离子反射器整体上沿着该离子反射器的中心轴单调变化，其结果是在该离子反射器的中空区域形成还能唯一地得到反函数XA(U)的规定的电位分布UA(X)，由此在该离子反射器内部的坐标X0且电位E0的位置处形成N次收敛位置，并且，上述反射器驱动单元向上述离子反射器施加电压，使得在以坐标X0的N次收敛位置为起始点的深侧的空间内在上述坐标X0附近能够用与{U(X)‑E0}N+3/2成比例的式子进行近似、且从上述坐标X0起在深侧成为平滑函数的规定的校正电位XC(U)与上述规定的电位XA(U)叠加。