[发明专利]用于退火工艺的热处理设备在审
| 申请号： | 201180063225.6 | 申请日： | 2011-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN103314122A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李祥源;吴镇泽 | 申请（专利权）人： | POSCO公司 |
| 主分类号： | C21D9/663 | 分类号： | C21D9/663;C21D1/26 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 王秀君;刘奕晴 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 提供一种用于退火工艺的热处理设备，该设备能够减小线圈内的温度偏差。用于退火工艺的热处理设备包括：基板（100），线圈（400）设置在基板（100）上；盖（200），盖（200）的下部敞开部分（210）密封在基板（100）的边缘处，以包围线圈（400）；支撑单元（300），支撑基板（100）的下部，以在基板（100）的下部形成热传递空间部分（520），辐射热从外部热源传递到热传递空间部分（520）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 退火 工艺 热处理 设备 | ||
【主权项】：
一种用于退火工艺的热处理设备，在退火工艺过程中热从外部热源传递到所述热处理设备，所述热处理设备包括：基板（100），线圈（400）设置在基板（100）上；盖（200），盖（200）的下部敞开部分密封在基板（100）的边缘处，以包围线圈（400）；支撑单元（300），支撑基板（100）的下部，以在基板（100）的下部形成热传递空间部分（520），辐射热从外部热源传递到热传递空间部分（520）。
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