[发明专利]用于退火工艺的热处理设备

权利要求书

1.一种用于退火工艺的热处理设备，在退火工艺过程中热从外部热源传递到所述热处理设备，所述热处理设备包括：

基板（100），线圈（400）设置在基板（100）上；

盖（200），盖（200）的下部敞开部分密封在基板（100）的边缘处，以包围线圈（400）；

支撑单元（300），支撑基板（100）的下部，以在基板（100）的下部形成热传递空间部分（520），辐射热从外部热源传递到热传递空间部分（520）。

2.根据权利要求1所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，密封槽部分（110）分别形成在基板（100）的边缘处，密封构件（510）填充密封槽部分（110），所述下部敞开部分（210）分别插入到密封构件（510）中。

3.根据权利要求1所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，基板（100）由具有优良热特性的钢材料构成，以将热源从热传递空间部分（520）传递到线圈（400）的下部。

4.根据权利要求1所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，支撑单元（300）包括中央支撑块（310）和多组扩展支撑块（320），中央支撑块（310）设置在基板（100）的下部的中央，所述多组扩展支撑块（320）在基板（100）的下部径向地设置。

5.根据权利要求4所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，所述多组扩展支撑块（320）中的每组包括第一支撑块（321）和第二支撑块（322），第一支撑块（321）朝着中央支撑块（310）纵向延伸，第二支撑块（322）比第一支撑块（321）短。

6.根据权利要求5所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，第二支撑块（322）设置在第一支撑块（321）之间，从而第一支撑块（321）和第二支撑块（322）交替地布置。

7.根据权利要求1所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，基板（100）成形为圆形板，线圈（400）设置在所述圆形板上。

8.根据权利要求1所述的用于退火工艺的热处理设备，其中，支撑单元（300）由防火材料构成，以防止基板（100）蠕变下垂。