[发明专利]溶解氮浓度监测方法、基材清洁方法及基材清洁装置有效
| 申请号： | 201180061112.2 | 申请日： | 2011-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN103261885A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 榛原照男;久保悦子;森良弘;内部真佐志 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | G01N33/18 | 分类号： | G01N33/18;H01L21/02;B08B3/12 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 李振东;过晓东 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明提供能够在无需复杂操作且降低成本的情况下实时精确监测清洁液的溶解氮浓度的溶解氮浓度监测方法。利用溶解氧浓度计43测量超声波照射期间的溶解氧浓度DO2。通过由测得的溶解氧浓度DO2减去初始溶解氧浓度D0计算溶解氧浓度增加量ΔDO2。然后，由储存部分46读出对应于特定的溢流率或超声波输出功率水平的近似式，并将由储存部分46读出的近似式用于由溶解氧浓度增加量ΔDO2计算混合的超纯水的溶解氮浓度DN2。 | ||
| 搜索关键词： | 溶解 浓度 监测 方法 基材 清洁 装置 | ||
【主权项】：
在用超声波照射有基材浸入其中的清洁液时监测清洁液的溶解氮浓度的溶解氮浓度监测方法，该方法的特征在于包括以下步骤：测量通过由超声波照射引起的自由基反应由于由水分子产生的氧分子导致的清洁液的溶解氧浓度增加量；及基于溶解氮浓度与溶解氧浓度增加量之间的预定的关系，由测得的所述溶解氧浓度增加量计算清洁液的溶解氮浓度。
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