[发明专利]机电转换器件及其制造方法及液滴排出头和液滴排出设备有效
| 申请号： | 201180054692.2 | 申请日： | 2011-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN103210515A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 水上智;秋山善一;真贝胜;町田治 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/047;H01L41/29;H01L27/20;B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 王景刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在振动板上形成由金属制成的第一电极；在第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；涂布表面改性材料，并仅对第一电极实施表面改性；在第二电极上形成机电转换膜；以及在机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。 | ||
| 搜索关键词： | 机电 转换 器件 及其 制造 方法 液滴排 出头 排出 设备 | ||
【主权项】：
一种制造机电转换器件的制造方法，包括：在基板上形成振动板；在所述振动板上形成由金属制成的第一电极；在所述第一电极上形成由导电氧化物制成的第二电极；涂布表面改性材料，并仅对所述第一电极实施表面改性；在所述第二电极上形成机电转换膜；以及在所述机电转换膜上形成由导电氧化物制成的第三电极。
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