[发明专利]树脂制模具、其制造方法及其使用方法

摘要

本发明的课题在于提供一种无转印缺陷、与压印的树脂之间的剥离性优良且不会由于压印而发生脱模剂的脱落的树脂制模具。本发明的树脂制模具是具有表面形成了凹凸图案的树脂层和以均匀厚度在该树脂层的至少凹凸图案的表面上形成的含有脱模剂的剥离层的树脂制模具，其特征在于，上述树脂层含有溶剂可溶性树脂和添加剂，其中，上述添加剂具有能与上述脱模剂键合的取代基且具有与上述溶剂可溶性树脂具有相溶性的取代基、而且对溶剂可溶性树脂具有渗透性，上述添加剂较多地存在于上述树脂层表面附近，上述添加剂的能与脱模剂键合的基团与上述脱模剂缩合从而将上述树脂层与剥离层接合。

主权项

一种树脂制模具，具有基板、形成在基板上且表面形成了凹凸图案的树脂层、以及以均匀厚度在该树脂层的至少凹凸图案的表面上形成的含有脱模剂的剥离层，其特征在于，上述树脂层含有溶剂可溶性树脂和添加剂，其中，上述添加剂具有能与上述脱模剂键合的取代基且具有与上述溶剂可溶性树脂具有相溶性的取代基，上述添加剂对溶剂可溶性树脂具有渗透性，上述添加剂较多地存在于上述树脂层表面附近，上述添加剂的能与脱模剂键合的基团与上述脱模剂化学键合从而将上述树脂层与剥离层接合。