[发明专利]树脂制模具、其制造方法及其使用方法

权利要求书

1.一种树脂制模具，具有基板、形成在基板上且表面形成了凹凸图案的树脂层、以及以均匀厚度在该树脂层的至少凹凸图案的表面上形成的含有脱模剂的剥离层，其特征在于，上述树脂层含有溶剂可溶性树脂和添加剂，其中，上述添加剂具有能与上述脱模剂键合的取代基且具有与上述溶剂可溶性树脂具有相溶性的取代基，上述添加剂对溶剂可溶性树脂具有渗透性，上述添加剂较多地存在于上述树脂层表面附近，上述添加剂的能与脱模剂键合的基团与上述脱模剂化学键合从而将上述树脂层与剥离层接合。

2.如权利要求1所述的树脂制模具，其特征在于，上述剥离层表面的纯水接触角为100°以上。

3.如权利要求1或2所述的树脂制模具，其特征在于，上述添加剂是下述通式（1）所示的化合物或其水解物，

Y_3-n(CH₃)_nSiX      (1)

式（1）中，Y是甲氧基或乙氧基，X是含有选自乙氧基、环氧丙氧基、可以具有取代基的苯基及氨基中的一种基团的有机基团，n是0或1。

4.如权利要求1～3中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，上述树脂层中的上述添加剂的含量为1～13重量%。

5.如权利要求3或4所述的树脂制模具，其特征在于，上述溶剂可溶性树脂具备具有与上述式（1）的X同种类的取代基的结构单元。

6.如权利要求5所述的树脂制模具，其特征在于，上述溶剂可溶性树脂中，具有与上述式（1）的X同种类的取代基的结构单元的比例为1～15重量%。

7.如权利要求3～6中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，上述添加剂的与上述溶剂可溶性树脂具有相溶性的取代基是上述式（1）的取代基X。

8.如权利要求3～7中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，上述添加剂的能与上述脱模剂键合的取代基是上述式（1）的取代基Y或其经水解后的基团。

9.如权利要求1～8中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，上述脱模剂是选自氟类硅烷偶联剂、单末端胺化全氟（全氟醚）化合物和单末端羧基化全氟（全氟醚）化合物中的至少一种。

10.如权利要求1～9中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，上述基板是树脂基板、玻璃基板、硅基板、蓝宝石基板、碳基板或GaN基板。

11.如权利要求10所述的树脂制模具，其特征在于，上述树脂基板为选自聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚酰亚胺、聚砜、聚醚砜、环状聚烯烃和聚萘二甲酸乙二醇酯中的一种树脂。

12.如权利要求1～11中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，表面的凹凸图案的周期为10nm～50μm。

13.如权利要求1～12中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，表面的凹凸图案的形状为线形、圆柱状、蛾眼状或透镜状。

14.树脂制模具的制造方法，其特征在于，该方法包括：(I)在基板上涂布将溶剂可溶性树脂和添加剂溶解在溶剂中的溶液、形成树脂溶液层的工序，

（II）从上述树脂溶液层中除去溶剂、在基板上形成树脂层的工序，

（III）将模具与上述树脂层抵接，将在该模具的表面形成的凹凸图案转印到上述树脂层表面的工序，和

（IV）在上述树脂层的至少具有凹凸图案的面上涂布脱模剂，形成厚度均匀的剥离层的工序。

15.树脂制模具的使用方法，其特征在于，包括使权利要求1～13中任一项所述的树脂制模具与树脂表面抵接的工序，以及将上述树脂从上述树脂制模具剥离的工序。

16.如权利要求15所述的树脂制模具的使用方法，其特征在于，上述树脂为光固化性树脂。

17.如权利要求1～13中任一项所述的树脂制模具，其特征在于，其被固定在辊上。