[发明专利]表面处理装置

摘要

表面处理装置具备：阳电极部件和阴电极部件中的一者，其与在外周面具有环状被处理区域的金属制的被处理物电连接；框部件，其具备外周面以及相对于环状被处理区域隔开间隔而对置的非导电性的内周面；非导电性的弹性密封件，其通过密封外周面中夹着环状被处理区域的两侧的每侧和内周面的间隙，能够形成沿环状被处理区域的电解液通路；棒状的阳电极部件和阴电极部件中的另一者，其以顶端部进入到电解液通路中的方式朝向被处理物侧突出设置；以及电解液流通单元，其沿着电解液通路使电解液流通。

主权项

一种表面处理装置，具备：阳电极部件和阴电极部件中的一者，所述阳电极部件和阴电极部件中的一者与在外周面具有环状被处理区域的金属制的被处理物电连接；框部件，所述框部件具备相对所述外周面以及所述环状被处理区域隔开间隔而对置的非导电性的内周面；非导电性的弹性密封件，所述非导电性的弹性密封件通过密封所述外周面中的夹着所述环状被处理区域的两侧的每一侧与所述内周面的间隙，由此能够形成沿所述环状被处理区域的电解液通路；棒状的阳电极部件和阴电极部件中的另一者，所述棒状的阳电极部件和阴电极部件中的另一者以顶端部插入到所述电解液通路中的方式朝向所述被处理物一侧突出设置；以及电解液流通单元，所述电解液流通单元沿着所述电解液通路使电解液进行流通。